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勻膠顯影機是線性模塊裝備的全自動設(shè)備

更新日期:2021-10-12       點擊次數(shù):1397
  勻膠顯影機是線性模塊裝備的全自動設(shè)備,恣意兩個相鄰模塊之間都需求一個晶片的轉(zhuǎn)移機構(gòu),所以晶片的模塊間精確快速傳送就顯得格外重要。為了完成不同模塊之間晶片的平穩(wěn)轉(zhuǎn)移和取放,
  一個簡易機械手的開發(fā)顯得尤為重要。該機械手應(yīng)該能完成左右旋轉(zhuǎn)和上下升降兩個功能,結(jié)構(gòu)簡略而牢靠,同時造價較低,并能完成*的國產(chǎn)化。
  新式內(nèi)容本就實用于新式的目的在于提供一種勻膠顯影機用機械手設(shè)備,該機械手結(jié)構(gòu)簡略牢靠而又合理,操作修理十分便利,且造價較低。
  實用于新式的技能計劃是膠顯影機用機械手設(shè)備,包含主軸、套筒、大齒輪I、大齒輪II、底板、機械手、小齒輪I、支座、小齒輪II、升降電機、旋轉(zhuǎn)電機;主軸外側(cè)設(shè)有套筒,小齒輪II由旋轉(zhuǎn)電機驅(qū)動,小齒輪II與大齒輪I經(jīng)過皮帶傳動,大齒輪I經(jīng)過銜接部件與套筒固定,套筒上端與底板相連,主軸上部穿過底板,大齒輪II與主軸上部銜接,支座置于底板上,大齒輪II與主軸上部銜接,支座置于底板上,小齒輪I置于支座上,與機械手經(jīng)過銜接部件銜接的小齒輪I與大齒輪II之間經(jīng)過皮帶傳動。
  所述皮帶上下能夠設(shè)有張緊輪;所述支座內(nèi)開有與真空管、機械手相通的通道,主軸為中空軸,需求傳送的晶片置于機械手上外表,經(jīng)過真空吸附設(shè)備、主軸、真空管、支座,從機械手底部將晶片吸附于機械手上外表。
  所述支座為“⊥”形,其內(nèi)通道為“」”形,小齒輪I與“⊥”形支座的豎向經(jīng)過軸承合作。
  實用于新式絲杠與升降電機銜接,絲杠穿過提高板,與提高板螺紋傳動合作;同時,主軸、導(dǎo)向桿穿過提高板,形成對提高板的三點定位。
  實用于新式位置檢測開關(guān)安裝在提高板上,與坐落提高板右側(cè)的極限位檢測片合作完成機械手上下位的檢測。
  實用于新式旋轉(zhuǎn)電機和升降電機能夠為同步電機。
  實用于新式的長處及有益作用是
  1  實用于新式晶片在機械手上放置的中心點總是在一條直線上運動,且移動距離可調(diào)。
  2  實用于新式機械手配有真空吸附,輔助晶片定位,保證晶片在移動中不發(fā)生偏移。
  3  實用于新式機械手的上下移動和左右旋轉(zhuǎn)均由步進(jìn)馬達(dá)完成,靠脈沖個數(shù)的給定來完成精確的重復(fù)定位精度。
  4  實用于新式能夠具有杰出的人機交互界面,對機械手進(jìn)行監(jiān)控。
  5  實用于新式結(jié)構(gòu)簡略牢靠而又合理,操作修理十分便利,且造價較低。
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